一納米定成敗
儀器品牌：日立 HITACHI
儀器型號：FT160
即使是1納米也會產生巨大差異，所以，您需要一臺高端XRF 鍍層測厚儀滿足當今電子行業及未來納米分析的需求，為微型結構選擇精準分析。
高強度X射線-儀器的核心所在是全新的毛細管聚焦光學系統，其具備的30um光束適合于測量微小的半島體圖案和超小型元件。
?● 最優分辨率硅漂移探測器-這一高性能裝置使計數率加倍，確保實施可重復測量以提高生產力。?
● 大型樣品室門-便于操作員裝載和卸載樣品，此外，FT160還具有寬敞的樣品室，以容納各種形狀的樣品，封閉式樣品室也最大?限度提高安全性。
?● 高清相機-樣品觀察相機的分辨率得到提高-且具有16倍數字變焦功能-使半導體表面清晰準確，從而最大限度地減少失真和重復測試。
?● 全新控制器軟件-只需在屏幕上確定最佳測量點，然后運行分析。
● 可確定從鋁（11）到鈾（92）等多種金屬的鍍層厚度。
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